X/Y/Z轴均为直驱电机 动梁龙门设计,行程可无限加长
产品特性:
X/Y/Z轴均为直驱电机
动梁龙门设计,行程可无限加长
双电机双反馈
X/Y/Z轴行程:3000 /600 /450 mm
X/Y/Z快速进给:100/ 90 /90 m/min
X/Y/Z重复定位精度:8 /2.5 /2 μm
X/Y/Z定位精度(补偿后):15/ 4.8 /4 μm
X/Y/Z加速度: 10 m/s2
典型应用领域:高精度/高速龙门铣双驱加工中心
中空XY 晶圆检测平台
XYZ用于电子组装平台
龙门双驱平台用于测试和激光应用
XY龙门双驱平台